• 第十六章 旋涂(2 / 2)

    ……

    “什么味道。”

    許秋突然聞到一股淡淡的魚腥味。

    他很快反應過來,應該是臭氧泄露了。

    因為臭氧的毒性較低,他也沒去專門戴個防毒面具,直接提起一口氣,走到臭氧發生器旁邊。

    先將儀器停掉,然后開始檢查。

    儀器門關閉的嚴嚴實實,儀器后端的橡膠軟管也連通著窗戶外面。

    看起來一切正常,那么氣味是怎么散出來的呢?

    難道是那里?

    許秋心中有了推斷,他找到工具箱,從中翻出一卷3M的黑色電工膠布,然后帶著膠布返回臭氧發生器。

    這時臭氧的味道已經逸散的差不多了。

    他繞到儀器后面的軟管處,仔細的一段段檢查。

    果然,有一處橡膠軟管因老化而產生了裂紋,而且從斷裂痕跡來看,應該是剛斷裂不久的。

    許秋用膠布將裂紋處粘好。

    再次開啟儀器,這次聞不到臭氧的味道了。

    不過,用膠布粘只是權宜之計,最佳的方法還是更換一根新的橡膠管。

    于是,許秋喊道:

    “學姐,臭氧發生器的軟管裂開了,我現在先用膠布粘住了,之后需要領用一根新的管子。”

    “好的,我記下了。”陳婉清道。

    解決了這個小麻煩后,許秋待臭氧發生器的倒計時結束后,繼續實驗。

    他將培養皿從儀器中取出,用鑷子夾取一片基片,將基片放在勻膠機的平臺上。

    平臺下面有一小孔,連接著真空泵,用來確保在高速旋轉過程中,基片不會移動。

    他設定好勻膠機的參數,轉速是3000轉每分鐘,旋轉時間設為60秒。

    然后用針筒擠出約0.1毫升的PEDOT溶液到基片中央,再用過濾頭的末端拖動液面,使溶液覆蓋滿整個基片。

    接著按下啟動鍵,勻膠機自動開啟真空泵,并按照預設的參數運行,待平臺完全停止轉動后,自動關閉真空泵。

    又是一個類似于超聲波清洗儀的傻瓜式機器。

    許秋用鑷子夾起旋涂好的基片,仔細檢查,發現旋涂的非常完美,藍紫色的薄膜覆蓋了整個基片,而且薄膜表面光滑,沒有孔洞。

    將基片放回原培養皿,繼續夾起下一片。

    重復旋涂12次后,11片完美,僅有一片略有瑕疵,只涂上了四分之三的面積。

    許秋將有瑕疵的那片丟入舊基片盒子中。

    接下來,是熱退火步驟。

    對于薄膜來說,退火的主要作用是除掉其中殘留的水分,所以只需要溫度比水的沸點稍高即可。

    許秋將旋涂好的基片連帶著培養皿,置于設定溫度為130攝氏度的加熱臺上,然后按下秒表進行計時。

    一般需要30分鐘以上。

    等待時間較長,許秋回到辦公桌,打算喝口水,休息一會兒。

    突然,旁邊的學姐冷不丁的問了一句:“許秋,你對未來有什么打算呀?”

    許秋差點把喝到嘴里的水噴出來。

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