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    第二十一章 真空鍍膜(下)(2 / 2)

    真空計示數達到5.2E-5帕,升溫程序也進入第二階段,一切正常。

    十二分鐘后。

    溫度示數達到400攝氏度,膜厚儀顯示的實時蒸鍍速率,在-0.01至0.01埃每秒之間波動,膜厚顯示仍為0.00埃。

    三分鐘后。

    溫度示數繼續增加,直至480攝氏度左右,蒸鍍速率開始在0.00至0.03埃每秒之間波動。

    當溫度達到520攝氏度后,蒸鍍速率維持在0.20至0.30埃每秒。

    許秋先開啟樣品臺旋轉,在等待了約十秒鐘后,同時打開樣品擋板并將膜厚儀的膜厚計數器歸零。

    鈣要蒸鍍10納米的厚度,也就是100埃。

    ……

    待膜厚儀示數達到100埃時,許秋迅速關閉樣品擋板。

    隨后,他將束源爐升溫數控裝置關閉,讓束源爐自然降溫。

    最后,將膜厚儀的參數改為鋁的參數。

    ……

    半小時后。

    束源爐的溫度降低至77攝氏度。

    許秋關閉鈣的束源爐擋板,打開電流加熱裝置。

    這個加熱裝置很簡單,就是把電源、鎢簍、電位器(類似于滑動變阻器)、保險絲、電流計連在一起,通過調節電位器,便可以改變電路中的電流大小。

    許秋緩慢扭動電位器的旋鈕,使電流計示數從0逐漸增加至18安培。

    當電流達到16安培時,膜厚儀上蒸鍍速率開始有了示數。

    電流達到18安培后,許秋等待了幾秒,然后同時打開樣品擋板并清零膜厚儀的膜厚計數器。

    蒸鍍速率則先是從0.2、0.3迅速提升至3.0,隨后迅速回落至1.8,之后緩緩下降至1.7,1.6埃每秒……

    電流計的示數也會隨著時間變化,忽上忽下。

    每當其相較于18的偏離值超過1時,許秋就將其調至18。

    鋁的厚度要求是100納米,也就是1000埃。

    ……

    待膜厚儀示數達到1000埃時,許秋迅速按下樣品擋板。

    然后緩緩扭動電位器,將電流歸零。

    接著關閉超真空擋板閥,停止分子泵。

    等待十分鐘后,分子泵轉速從27000r.p.m.降至0,關閉其開關。

    最后,關閉機械泵,關閉總控臺。

    …………

    “終于結束啦!”許秋長吁了一口氣,感慨道。

    “這么多操作,居然零失誤,厲害呀!”陳婉清贊嘆道。

    “這都是學姐教的好。”許秋道。

    “行啦,別謙虛了,你的科研天賦我心里有數。

    想想我當初學蒸鍍,可是沒少讓魏老師頭疼,不是忘記開空氣泵,就是忘開擋板,甚至還有一次忘記放基片了。”陳婉清道。

    聽到最后一句,許秋沒忍住笑了出來。

    看到學姐在瞪著他,他趕緊把笑容收斂住,面色嚴肅的向手套箱走去。

    進入手套箱,許秋旋開艙門上下的旋鈕,開始拉艙門。

    咦,艙門怎么拉不下來?

    琢磨了一會兒,許秋明白了,因為蒸鍍結束后,艙體內部還是真空狀態。

    于是他轉頭看學姐,可她似乎并沒有主動解答的意思。

    這么記仇啊。

    他只好問道:“學姐,這個怎么弄?”

    陳婉清指了指手套箱側面,說道:

    “那邊有一個接通氮氣瓶的閥門,可以往蒸鍍艙內充氮氣。”

    許秋走過去,輕輕旋開閥門,“嘶嘶”的氣流聲傳來。

    10秒后。

    20秒后。

    30秒后。

    沒什么動靜啊。

    “學姐,什么時候停下來呢?”許秋忍不住問道。

    “繼續放氣。”陳婉清面無表情道。

    “哦。”

    40秒后。

    50秒后。

    60秒后,正當許秋打算再次發問時。

    “砰!”

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