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    第697章 直奔浸潤式光刻(2 / 2)

    但人家意識得造,就意味著布局得早。尼康早就拉了一幫人在搞157nm的F2準分子光源不說,老美那邊更是牛逼,國家能源局親自下場,組建了一支豪華的陣容直接瞄準了最低可到10nm波長的極紫外光源EUV。

    而國內,則壓根沒有那個精力去搞。

    現在蘇遠山說的不是直接搞光源,而是直接搞光刻機……

    好家伙,意思就是那邊的團隊搞定了光源?

    當然,鄭振川不向曲慧他們這樣一驚一乍的,作為鴻芯的負責人,他自然知道林本堅他們的方案,并且自己這邊也給出了合作計劃。

    但蘇遠山現在說到直接就進行光刻機的研究……

    這……是不是走得太快了一點?

    所以,鄭振川也疑惑地望向蘇遠山。

    面對眾人疑惑的眼神,蘇遠山輕輕地吸了口氣。

    之所以讓鄭振川直接就上馬浸潤式光刻機,自然還是因為他對林本堅有著絕對的信心。

    林本堅是工程師,而且還是那種按部就班的、極為老牌和嚴謹的工程師。他既然能提出浸潤式方案,那腦海中就必定有一個大體的解決方案。

    而蘇遠山上次從HK回來時就路過了滬市,專門去看了林本堅羅列出的一個個要解決的技術問題和難點。按照蘇遠山對工程和光學的淺薄認識來看,這些技術,都不是超越現代工程的技術。

    那么這就意味著,浸潤式方案,也會如同前世一樣,或許兩年就能搞出來——把時間再算拋一點,那也就是三年!

    三年!

    如果鄭振川和林本堅的團隊一同協助,一開始就直奔浸潤式DUV,那么或許最多三到五年……鴻芯就能推出世界上第一臺浸潤式DUV光刻機。

    想到2003年,自己就能拿到可以賣20年都不會落伍的DUV,蘇遠山就感覺到有點燥熱起來。

    那該是多么偉大的一次超越啊……

    “不,林,趙團隊沒有解決光源,但他們有解決鏡頭的方案。可以實現超越193nm的效果。”

    如果鄭振川和林本堅的團隊一同協助,一開始就直奔浸潤式DUV,那么或許最多三到五年……鴻芯就能推出世界上第一臺浸潤式DUV光刻機。

    想到2003年,自己就能拿到可以賣20年都不會落伍的DUV,蘇遠山就感覺到有點燥熱起來。

    那該是多么偉大的一次超越啊……

    “不,林,趙團隊沒有解決光源,但他們有解決鏡頭的方案。可以實現超越193nm的效果。”

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