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    第248章 真的只花了一晚上的時間?(1 / 3)

    徐洲知道,這次的項目有多么重大的意義,不僅僅是一個橫向課題而已,夸張一點兒說,甚至會影響到國家未來芯片行業的進展。

    相比于之前與彼亞蒂的橫向課題,這次的課題都要更加重要許多。

    “這一次我們研究的課題,主要是有關芯片原材料的技術。我們需要研究出更好的集成電路硅片平坦化技術,以增加芯片加工過程的效率,保證芯片材料的質量。”

    將這項研究交給寧晨和徐洲等人,是非常合適的,因為他們之前便做過很多有關硅的技術,即便放眼全國,他們也算是硅材料領域的專家了。

    聽到寧晨的話,徐洲也點點頭說道

    “是的,為了得到準確的光刻圖案,我們必須要提高硅片刻蝕層的面型精度,以及微觀表面質量。對于硅片的尺寸,我們有非常嚴格的要求。”

    除了硅片的長、寬、厚度之外,硅片的局部平坦度需要控制在50n之內,正面的微粗程度,更是要求保持在01n的水平范圍上,這是一項并不容易達到的技術要求。

    大家經過一番討論之后,制定了兩種主要的研究方向。

    第一種研究方向,是在常用的硅片平坦化技術的基礎上進行改進。

    目前市面上主要的硅片平坦化技術方法,包括熱流法、旋轉玻璃法、回蝕法、電子環繞共振法、化學機械平坦化等等。

    這其中,化學機械平坦化是最為常見,也是最為成熟的方法,在這個方法上進行改進,相對來說也會更加的容易,更有可能取得研究的突破。

    而另一種研究方向,便是創造全新的硅片平坦化技術。

    這種研究方向并不容易,屬于一種完全的創新,所需要做的工作也會多很多,但并不容易取得什么有價值的成果。

    包括寧晨在內的實驗室成員,也都傾向于第一種研究方案,只是同時保留了第二種研究方向的可能。

    “今天回去之后,我們都考慮一下可以嘗試的方案。我們優先對于化學機械平坦化的方法進行改進,明天早上來實驗室一起討論可能的實驗方案。”

    一天的時間,很難做出非常詳細的實驗方案,當然寧晨也并不是想用一天的時間去解決方案的問題,而是可以把時間線放長一些,只是需要大家每天都進行討論罷了。

    即便是寧晨,也不能僅僅憑借自己的力量去解決各種問題,還是需要與其他人進行交流與合作。

    晚上,寧晨回到自己的書房,思考起有關化學機械平坦化技術的改進方案。

    寧晨先是總結著,傳統化學機械平坦化方法的各種缺點,并嘗試著從這些角度上進行優化。

    傳統的化學機械平坦化技術,因為基于游離磨料、拋光墊和硅片之間的磨損機理,工藝參數比較多、加工過程不是很穩定,不太容易實現自動化的控制,而且生產率也比較低。

    與此同時,由于拋光墊是具有一定彈性的有機織物,在拋光時對表面材料去除的選擇性不高,會導致產生包括過度拋光、氮化物腐蝕、碟形凹陷等各種各樣的缺陷。

    除此之外,傳統的化學機械平坦化技術還有幾種其他的缺陷,而這些都是有可能通過改進來獲得提升的。

    寧晨在腦海中,快速思考著這些問題的解決方式,同時結合著小智的模型化處理能力,來對自己的這些想法進行基本的測試。

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