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    第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機(1 / 3)

    “岸然,這事我必須當面和你說清楚,這七套設備雖然都是1.5微米制造工藝,不過其中有四臺,和其他的有些區別。”

    王岸然一下來了興致。

    “有什么不一樣?”

    “有三臺使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺……”

    “張教授,你倒是說啊!”

    張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說道:“岸然,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,現在看來,只是沒找到你感興趣的東西啊!”

    王岸然白了張大京一眼,說道:“張教授,你再不說,我可要翻臉了啊!”

    “好!好!”張大京搖搖頭,說道:“岸然,有四臺使用的是Krf248納米準分子激光光源。”

    額,王岸然感覺呼吸都有些急促,krf準分子激光光源有兩種波長,一種是248納米,另外一種就是193納米。

    這跟高壓汞燈光源不一樣的是,高壓汞燈光源還屬于可見光,而krf準分子激光已經邁入紫外線的范疇。

    雖然國內早已經開始了krf準分子激光的研究,而且取得了相應的成果,不過適用于光刻的248納米光源,要求的是百焦級別的高功率,以及粒子均勻性要在千分之零點三的范圍內。

    門檻就在這里。

    事實上,IBM早在1980年就將krf準分子激光光源用于半導體光刻,而十五年過后,對國內來說,還是一道深不可測的技術門檻。

    沒想到,這玩意竟然被張大京搞來了……

    王黯然忙問道:“張教授,我記得激光光源是瓦森納協議中禁止貿易的,你怎么……?”

    “岸然,你錯了,瓦森納協議中限制出口的列表,今年沒有把248納米krf列入其中。

    不過需要說明的是,這款激光器是不可以用作軍事用途的,所以,他們會派人監管,并定期檢查的。”

    自己的消息還是滯后了啊!

    王岸然搖搖頭,如果248納米光刻機解除禁運的話,國外已經在193納米光刻機的應用上有了長足的進步,甚至在深紫光上有了突破。

    原因很簡單,瓦森納協議的核心就是N-2政策,西方審批出口的依據就是,對華出口的設備必須是落后兩代。

    而實際上,審批程序很復雜,等真拿到設備的時候,差不多已經是第三代的了,基本上比起國際主流的技術要落后10年左右。

    這也沒辦法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙問道:“張教授,這條芯片生產線,可以……”

    張大京打斷王岸然的話,說道:“岸然,這是我另外要說的一件事,248納米激光光源光刻機,可以經過改造,用于1微米制程的芯片生產,不過,涉及一系列復雜的光學曝光技術,這些專利是要折算成資金入股的!”

    這個王岸然沒有意見,如果能改造成沉浸式光刻機,320納米制程都沒問題。

    張大京拿出一份文件遞給王岸然。

    “股權結構?”

    張大京點點頭。

    王岸然翻開一看,愣住了。

    7億美金只占了35%的股份,張大京團隊以技術入股,占15%的股份,張大京自領5%的干股,后面跟著一大串投資人。

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