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    第三百八十四章 MOCVD(1 / 2)

    第三百八十四章

    目前,發展較好的寬禁帶半導體主要是Si這兩種。

    在燕大的半導體研究中心這,主要研究的寬禁帶半導體對象是GaN。

    在GaN基寬禁帶半導體領域,該研究中心一直處于國內領先地位。

    注冊擁有的和GaN寬禁帶半導體有關的發明專利,多達二十多個。

    包括GaN基外延層的大面積、低功率激光剝離方法,銦鎵氮單晶薄膜MOCVD外延生長技術等等。

    第三代寬禁帶半導體擁有良好的物理化學性能,可應用在諸多的領域。

    而現在,根據第三代半導體的發展情況,其主要應用為半導體照明、電力電子器件、激光器和探測器、以及其他4個領域。

    各個領域產業成熟度各不相同。

    但在前沿研究領域,寬禁帶半導體還處于實驗室研發階段。

    目前市面上主流的半導體,還是以第一代半導體和第二代半導體為主。

    其原因嘛……

    當然是第三代寬禁帶半導體還有很多技術難題沒有攻克。

    燕大的半導體研究所正在進行的工作,就是全力攻克這些難題,早日實現第三代半導體技術的徹底成熟,應用于市場。

    …………

    寬禁帶半導體實驗室,顧律三人穿著深棕色的實驗服,在張主任的帶領下走進去。

    實驗室的面積很大。

    將近有半個籃球場的大小。

    一眼望去,可以看到實驗室內數位研究員在各臺儀器前緊張的忙碌著。

    “主任好。”

    “主任好。”

    幾位年輕的研究員助理見到張主任進來,客氣的打招呼。

    張主任點點頭,然后擺擺手,“你們接著忙,接著忙。”

    “我們先去MOCVD那邊吧。”張主任壓低聲音,詢問顧律。

    顧律點頭一笑。

    張主任帶著顧律來到一臺一個高的長方形設備面前。

    “這個就是我們實驗室的MOCVD了!”張主任拍拍設備外面的鐵殼,笑著為顧律介紹。

    顧律上下打量了這臺設備一番。

    所謂的MOCVD,是在氣相外延生長的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。

    該設備以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延,生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

    上面說的有些復雜。

    簡單來理解的話,就是通過這臺MOCVD設備,可以將有機化合物和氫化物,合稱為實驗室所需的GaN寬禁帶半導體。

    這是一臺生長寬禁帶半導體的儀器。

    顧律在國外見過這種設備。

    不過國內和國外的MOCVD系統是有些區別的。

    因為MOCVD系統最關鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重復性,所以國內和國外MOCVD系統的主要區別在于反應室結構。

    在國外,反應室結構大多采用‘TurboDisc反應’,而國內則是采用‘行星反應’。

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