兩者各有其優劣,說不上誰更好。
但呈現在顧律面前的這臺MOCVD,雖然使用的仍舊是國內的行星反應室結構,但在設備的其他組成系統上,應該進行了深層次的優化。
顧律只是簡單的上下打量了這臺設備一眼,就得出一個這樣的結論。
“張主任,你們的這臺設備應該進行了一定程度的改裝吧,根據我的推測,這臺MOCVD不止最多可以同時生長兩片1.5英寸的GaN寬禁帶半導體?”顧律說出自己的猜測。
張主任豎起大拇指。
“你說的沒錯。”張主任拍拍設備,語氣略帶得意的開口,“這臺設備買回來后,我就讓隔壁機械學院的幾位朋友改裝了一下。”
“你看著,在這塊源供給系統部分,我們加了一個恒溫器,可以保證金屬化合物一個衡定的蒸氣壓。”張主任指著儀器前端的加裝上去的一個恒溫器為顧律介紹。
“還有這。”張主任把顧律領到MOCVD的背面,“這塊是氣體運輸系統,原本這里是只有一條管道的。”
“但是我們又增加了一條,這樣的話,可以迅速變化反應室內的反應氣體,并且還不會引起反應室內壓力的變化!”
張主任為顧律詳細的介紹了這臺設備的改裝情況。
除了反應室系統仍舊選擇行星反應之外,其余的幾個部分的系統皆進行了一定程度的改裝優化。
“那……”
顧律問出了自己最關心的問題,“那現在,這臺設備最大的產量是多少?”
張主任豎起三根手指,“最多可以同時生產三根兩英寸的GaN寬禁帶半導體!”
“嘶——!”
顧律倒吸一口冷氣。
這產量……
據顧律所知,國外Veeco公司斥巨資新研發的一種型號的MOCVD,也就比這個產量稍微高點。
正在顧律嘖嘖驚嘆的功夫,這臺設備剛好結束了一輪的工作。
一旁的研究員助理就要過來取走成品。
張主任擺擺手,戴上白手套,表示要親自將這次的成品取出。
忙活一陣后,張主任將兩條長長粗粗的GaN寬禁帶半導體取出。
張主任雙手摩挲在這個長長粗粗的物件上。
“你們也過來摸摸,手感很不錯,硬硬的,還有點燙。”張主任笑著招呼顧律師徒兩人。
顧律扯了扯嘴角,然后,和張主任一塊摸起來。
在旁邊就擺著一臺專門用于切割的儀器。
隨著一陣吱吱吱的聲音,長長的寬禁帶半導體被切割成許多小段。
顧律拿起一塊,在燈光下觀察切割的截面。
“成色很不錯啊!”
這樣的半導體,只需要經過簡單的幾步除雜手段,就可以直接拿出去加工了。
反倒是一旁的張主任不是很滿意的搖搖頭,“還是不太行,整條半導體,最終可以利用的只有80%左右,剩下的部分還是雜質太多。”
顧律手中拿的那一截,是位于整條半導體的中間部位,成色當然不錯。
但位于兩端的部分,則是因為含雜太多。
在實際生產的過程中,需要進行融化分解后,再投進MOCVD中二次生產。
這其中就產生不少浪費。
不過這是相當普遍常見的現象,想要完成百分百的利用率,那基本是不存在的。
80%這個數字已經算是不錯的了。