東北光學所,接到了一個光路系統的研制要求,要求的發起方,來自十二機部,至于是做什么用的,并沒有說明。
要求非常貼心的分為了兩級,實現過程也就分成了兩步。
第一步,是將波長355n的激光束擴散為直徑160的平行光束。
第二步,是將這束擴散后的平行光束,將光路中的玻璃板上圖像重新縮微投影為一個20的光斑。要求縮微投影后,圖形變形不超過5微米,越小越好。
這個要求說簡單那不簡單,說麻煩嘛,好像也不是非常麻煩,正好卡在好像努力一下就能夠的著的程度。
對于搞技術的人來說,這種要求是最舒服的,既不會沒有挑戰性和成就感,又不會要求太高難以實現。
而且對方明確說了,分兩步實施,第一步做出來就先提交第一步,第一步盡量快,第二步可以慢慢做,但是質量一定要穩。
還能分步提交成果,這就更舒服了。
甚至對方還非常貼心的,送了一臺激光器過來,正是355n激光光源。
這個不是紅寶石激光器,本來是高振東為激光測距準備的g(釔鋁石榴石)激光器,這東西功率比較容易做大,而且波長根據摻雜可調。
這正是高振東和1274廠集成電路工藝研究中的一部分,這個東西一看就知道,用于光刻機的光路系統。
把整個光路系統分成兩步,正是高振東的主意。
第一步,相對簡單一些,可以用于接觸式或者接近式光刻機,這兩個都是直接投影的,模版的分辨率多少,實際分辨率大約就是多少。
而第二步困難一些,等東北光學所慢慢搞就行,這是預想用于投影式光刻機的,搞個一年兩年三年的都不是什么問題,搞不出來,接近式光刻機也夠用了,搞出來了,那就純賺了。
與此同時,某化學研究所,搞有機材料的同志也接到了十二機部關于光敏材料的研究要求,研究要求明確指明了,光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交聯型中的一種,用于激光感光成像,工作光波長355n。
十二機部還送來了一臺激光器,以及簡單的激光擴散配件,用作試驗過程中的光源。
說實話,研究所的同志,還是第一次看到要求這么明確,連技術路線都給說得明明白白的要求文件。
甚至光交聯型這種,他們也是看了要求文件里面的解釋才搞清楚是個怎么回事兒。
要是所有的需求方都像這一家這樣就好了,化學研究所的同志美滋滋的想,還能學東西!
其實這是高振東沒辦法,他不知道現在到底哪一種能搞成,總之65年這東西是有的,干脆把幾種常見的光刻膠的路線都給寫了上去,你做出來哪種算哪種,無非就是正膠負膠的區別,都能用。
一個技術剛興起的時候,自由度是最大的,不用考慮太細節的東西,而且配套技術不用考慮技術路線的差別帶來的性能差異,因為要求還沒高到那份上,大概就是能用就行,整出來就算本事。